主营产品:
CVDSiC涂层和CVDTaC涂层部件:托盘、基座、预热环、外延桶、上半月件、下半月件等
产品:
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TaC涂层部件样品
应用领域:半导体加工/制造(半导体材料
公司简介:
公司成立于2018年,致力于半导体新材料研发,聚焦在半导体上道晶体生长、外延等工艺的关键涂层材料。主要研发、生产、销售用于SiC涂层石墨零部件产品,LED 芯片外延用 SiC 涂层基座、硅单晶外延基座,晶舟及整套设备热场材料,并提供碳化硅SiC和TaC涂层服务。目前在碳化硅(SiC)外延设备、MOCVD设备、硅(Si)外延设备等半导体设备关键部件及整套热场材料,LED外延用的SiC涂层基座等已经实现量产。
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