等离子体射频发生器、匹配器、中频电源、直流电源、远程等离子体源RPS等。

上海伊恩埃半导体科技股份有限公司（英文简称“AENI”），精专制造，中国旗舰，伊恩埃（AENI）成立于2000年，中国著名射频技术品牌，国内专业研发、生产、组装半导体级别射频发生器(RF Generator)、射频匹配器( RF Match)、RPS的头部企业。由海归留学团队联合创办，始终如一走“自主研发、技术立企”之路，产品频率覆盖400KHZ、13.56MHZ、2MHZ、27MHZ、60MHZ、162MHZ，产品功能性指标、扫频功能、射频精度、转换效率等均可充分满足半导体晶圆制造工艺和泛半导体太阳能电池、平板显示行业，以及高校、研究所、数据存储、ITO导电玻璃、工业镀膜等工艺需求。