主营产品:
常规金属磁控溅射系统:直流溅射、射频溅射、共溅射、反应溅射; 蒸发系统:电子束蒸发、热蒸发、高频感应蒸发、离子源辅助蒸发; 铟蒸发专用系统:电阻蒸发源或者高频感应蒸发源; 反应磁控溅射系统:直流脉冲反应溅射、射频反应溅射、反应共溅射; 多工艺腔室集成系统:多腔室Cluster系统、定制连续镀膜生产线;
产品:
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反应磁控溅射镀膜机
应用领域:光通信、信息处理/存储(光通信芯片,光器件 -
共焦磁控溅射镀膜机
应用领域:光通信、信息处理/存储(光通信芯片,光器件),先进制造(光学元件),半导体加工/制造(半导体制造),传感及测试测量(智能传感器),科研院所及高校(科研院所及高校 -
蒸发镀膜机
应用领域:光通信、信息处理/存储(光通信芯片,光器件),先进制造(光学元件),半导体加工/制造(半导体制造),传感及测试测量(智能传感器),科研院所及高校(科研院所及高校 -
多工艺腔室集成系统
应用领域:光通信、信息处理/存储(光通信芯片,光器件),先进制造(光学元件),半导体加工/制造(半导体制造),传感及测试测量(智能传感器),科研院所及高校(科研院所及高校 -
连续镀膜生产线
应用领域:先进制造(光学元件),半导体加工/制造(半导体制造),传感及测试测量(智能传感器),科研院所及高校(科研院所及高校
公司简介:
长沙元戎科技有限责任公司是一家专业从事高端PVD设备开发、设计及制造一体化的高新科技企业(GR202243001602.),主要产品为:磁控溅射镀膜机、蒸发镀膜机、反应磁控溅射镀膜机、多腔室镀膜机、连续镀膜生产线,拥有专业的研发和生产技术团队,核心部件全部为自主产权,核心技术完全不受国外限制,并且设备关键性指标达到国际一流水平。设备主要应用于半导体激光器、红外探测器、MEMS、集成电路等产品的量产及研发。咨询热线:0731-83168132。
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